半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件

2026年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)進(jìn)入壁壘、市場(chǎng)政策、發(fā)展現(xiàn)狀、競(jìng)爭(zhēng)格局及發(fā)展趨勢(shì)分析：外資企業(yè)在先進(jìn)制程領(lǐng)域占據(jù)絕對(duì)主導(dǎo)地位[圖]

半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件，是指為滿足半導(dǎo)體制造的超高潔凈、耐強(qiáng)腐蝕、抗等離子體轟擊、低顆粒污染、高耐磨等嚴(yán)苛工藝要求，在基體零部件表面通過(guò)物理、化學(xué)或氣相沉積等技術(shù)制備特定功能涂層的核心組件。