2026年中國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)進(jìn)入壁壘、市場政策、發(fā)展現(xiàn)狀、競爭格局及發(fā)展趨勢分析：外資企業(yè)在先進(jìn)制程領(lǐng)域占據(jù)絕對(duì)主導(dǎo)地位[圖]

內(nèi)容概要：特殊涂層零部件常應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)，是構(gòu)建設(shè)備工藝環(huán)境、距離半導(dǎo)體晶圓最近、直接參與晶圓工藝反應(yīng)或與晶圓直接接觸的關(guān)鍵工藝零部件，其性能指標(biāo)構(gòu)成半導(dǎo)體設(shè)備工藝能力的決定性因素，近年來，我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場的繁榮而發(fā)展壯大，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2025年我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)市場規(guī)模達(dá)51.3億元，同比增長22.1%。

相關(guān)上市企業(yè)：先鋒精科（688605）、珂瑪科技（301611）、富創(chuàng)精密（688409）

相關(guān)企業(yè)：高美可科技（無錫）有限公司、東陶（中國）有限公司、東賀?。ɡド剑╇娮佑邢薰尽⒅貞c臻寶科技股份有限公司、北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司、成都超純應(yīng)用材料股份有限公司

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)進(jìn)入壁壘、半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件市場政策、半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件市場規(guī)模、半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件競爭格局、半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件發(fā)展趨勢

一、概述

特殊涂層是指通過氣相沉積、氣溶膠、高密度等離子噴涂等特殊涂層工藝在設(shè)備零部件表面形成高致密度、低孔隙率的涂層，可以穩(wěn)定工藝條件和延長產(chǎn)品壽命。而半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件，是指為滿足半導(dǎo)體制造的超高潔凈、耐強(qiáng)腐蝕、抗等離子體轟擊、低顆粒污染、高耐磨等嚴(yán)苛工藝要求，在基體零部件表面通過物理、化學(xué)或氣相沉積等技術(shù)制備特定功能涂層的核心組件。

特殊涂層零部件貫穿集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈，從硅片外延到芯片制造前道及后道的核心設(shè)備，如刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、光刻設(shè)備等核心裝備，其關(guān)鍵零部件如噴淋頭、噴嘴、介質(zhì)窗、刻蝕環(huán)、腔體內(nèi)襯、靜電吸盤、反射鏡、物鏡等需通過等離子噴涂、氣相沉積等涂層工藝涂覆特殊涂層材料，以提升其耐等離子體腐蝕、抗熱沖擊、低顆粒剝落性能或特定光學(xué)性能，確保設(shè)備在極端制程環(huán)境下長期穩(wěn)定運(yùn)行，有效支撐先進(jìn)制程對(duì)良率和潔凈度的嚴(yán)苛要求。

二、行業(yè)進(jìn)入壁壘

半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件需在真空、高溫、強(qiáng)腐蝕性等離子體環(huán)境中長期運(yùn)行，對(duì)特殊涂層材料提出了極高的純度、致密度、穩(wěn)定性要求，當(dāng)前國內(nèi)企業(yè)多數(shù)停留在使用進(jìn)口原料的層面，在原材料端仍依賴進(jìn)口。此外，半導(dǎo)體設(shè)備零部件的涂層質(zhì)量直接關(guān)系到芯片良率、設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性與維護(hù)周期，因此晶圓廠對(duì)涂層件供應(yīng)商設(shè)置極高的認(rèn)證門檻，通常需經(jīng)歷材料成分驗(yàn)證、批次一致性測試、上機(jī)壽命驗(yàn)證、等離子穩(wěn)定性評(píng)估、長期耐腐蝕分析等多輪流程，驗(yàn)證周期長達(dá)12-24個(gè)月，一旦通過驗(yàn)證，設(shè)備廠商或晶圓廠對(duì)特殊涂層零部件供應(yīng)商形成高度粘性，更換成本很高，新進(jìn)入者不僅需具備材料、工藝、設(shè)備一體化能力，還需提供持續(xù)的售后技術(shù)服務(wù)與失效分析能力。

三、市場政策

我國將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控列為戰(zhàn)略目標(biāo)，為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，近年來，我國相繼發(fā)布《關(guān)于集成電路企業(yè)增值稅加計(jì)抵減政策的通知》《制造業(yè)可靠性提升實(shí)施意見》《關(guān)于印發(fā)電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動(dòng)方案的通知》《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動(dòng)方案》《關(guān)于推動(dòng)未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見》《關(guān)于加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的意見》《貫徹實(shí)施〈國家標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展綱要〉行動(dòng)計(jì)劃（2024—2025年）》《關(guān)于促進(jìn)非銀行金融機(jī)構(gòu)支持大規(guī)模設(shè)備更新和消費(fèi)品以舊換新行動(dòng)的通知》《支持蘇州工業(yè)園區(qū)深化開放創(chuàng)新綜合試驗(yàn)的若干措施》《關(guān)于推動(dòng)技能強(qiáng)企工作的指導(dǎo)意見》《關(guān)于促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》等一系列政策支持、鼓勵(lì)和規(guī)范半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要配套之一的半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件也受到眾多產(chǎn)業(yè)政策的支持。

四、產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)上游主要包括涂層原料、陶瓷基底材料、金屬基底材料等原材料供應(yīng)商以及PVD、CVD、高致密等離子噴涂等設(shè)備供應(yīng)商；行業(yè)中游為半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件生產(chǎn)企業(yè)；行業(yè)下游主要面向刻蝕、薄膜沉積、光刻、清洗等半導(dǎo)體核心設(shè)備廠商以及晶圓制造企業(yè)。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造復(fù)雜工藝的核心載具，其性能和精度直接決定了芯片的良率、性能以及生產(chǎn)效率，是整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體設(shè)備已成為我國戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重要支柱，是推動(dòng)我國邁向高質(zhì)量發(fā)展的核心引擎，也是國際科技競爭的關(guān)鍵領(lǐng)域，代表著國家科技實(shí)力的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。近年來，在國家政策持續(xù)加碼與下游市場需求爆發(fā)式增長的雙重驅(qū)動(dòng)下，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)突破多項(xiàng)技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了從技術(shù)跟跑、市場補(bǔ)缺到部分關(guān)鍵領(lǐng)域并跑領(lǐng)跑的跨越式發(fā)展，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國半導(dǎo)體設(shè)行業(yè)備市場規(guī)模達(dá)3528.8億元，同比增長36.8%，下游市場持續(xù)繁榮為我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)發(fā)展帶來廣闊的增長空間。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)市場競爭態(tài)勢及前景戰(zhàn)略研判報(bào)告》

五、發(fā)展現(xiàn)狀

特殊涂層零部件常應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔內(nèi)，是構(gòu)建設(shè)備工藝環(huán)境、距離半導(dǎo)體晶圓最近、直接參與晶圓工藝反應(yīng)或與晶圓直接接觸的關(guān)鍵工藝零部件，其性能指標(biāo)構(gòu)成半導(dǎo)體設(shè)備工藝能力的決定性因素，近年來，我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場的繁榮而發(fā)展壯大，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2025年我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)市場規(guī)模達(dá)51.3億元，同比增長22.1%。

六、競爭格局

1、整體格局

與歐美日等海外發(fā)達(dá)國家/地區(qū)相比，我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件產(chǎn)業(yè)起步較晚，而海外特殊涂層零部件廠商為了避免技術(shù)泄密和受到國外政府限制，在中國大陸建廠后引入的都是以陽極氧化、大氣等離子噴涂技術(shù)為主的產(chǎn)品，均未將最先進(jìn)的特殊涂層技術(shù)引進(jìn)中國大陸，因此，以KoMiCo、TOTO、TOCALO為代表的跨國企業(yè)，憑借先發(fā)技術(shù)優(yōu)勢和全球化布局，與LAM、AMAT、KLA、TEL、ASML等設(shè)備龍頭形成深度戰(zhàn)略合作關(guān)系，在先進(jìn)制程領(lǐng)域占據(jù)絕對(duì)主導(dǎo)地位。

因此，為追趕國際先進(jìn)半導(dǎo)體制程步伐，以重慶臻寶科技股份有限公司、北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司、蘇州珂瑪材料科技股份有限公司、江蘇先鋒精密科技股份有限公司、沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司、成都超純應(yīng)用材料股份有限公司為代表的本土企業(yè)，在關(guān)鍵技術(shù)、核心材料等方面堅(jiān)持創(chuàng)新，推動(dòng)國產(chǎn)零部件產(chǎn)品在超低顆粒與微量元素污染管控、耐等離子體轟擊、抗氣體腐蝕、高平整度精度、抗高低溫沖擊等關(guān)鍵性能維度實(shí)現(xiàn)持續(xù)突破，逐步縮小與國際領(lǐng)先水平的差距，同時(shí)，憑借定制化技術(shù)方案與本土化高效服務(wù)的雙重優(yōu)勢，本土企業(yè)在高致密、低孔隙率、低微量元素污染的特殊涂層等特色工藝環(huán)節(jié)形成差異化競爭優(yōu)勢，驅(qū)動(dòng)我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)的國產(chǎn)化替代進(jìn)程持續(xù)提速。

2、代表國產(chǎn)企業(yè)分析

（1）蘇州珂瑪材料科技股份有限公司

蘇州珂瑪材料科技股份有限公司主營業(yè)務(wù)為先進(jìn)陶瓷材料零部件的研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)以及泛半導(dǎo)體設(shè)備表面處理服務(wù)。公司是國內(nèi)本土先進(jìn)陶瓷材料及零部件的領(lǐng)先企業(yè)之一，掌握關(guān)鍵的材料配方與加工工藝，并具備先進(jìn)陶瓷前道制造、硬脆難加工材料精密加工和新品表面處理等全工藝流程技術(shù)。公司在半導(dǎo)體設(shè)備用高純度氧化鋁、高導(dǎo)熱氮化鋁零部件等“卡脖子”產(chǎn)品方面實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代，多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際主流水平。2025年上半年珂瑪科技營業(yè)總收入已完成5.20億元，其中，銷售先進(jìn)陶瓷材料零部件占91.74%，提供表面處理服務(wù)占7.20%，銷售金屬結(jié)構(gòu)零部件占0.49%。

（2）成都超純應(yīng)用材料股份有限公司

成都超純應(yīng)用材料股份有限公司是一家專注于特殊涂層工藝及其關(guān)聯(lián)技術(shù)和材料的國家級(jí)專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)，主要面向芯片制造、精密光學(xué)等領(lǐng)域，提供經(jīng)材料改性、精密表面加工、精密清洗和特殊涂層工藝后的精密零部件產(chǎn)品及服務(wù)。公司建立了覆蓋關(guān)鍵設(shè)備自研改造、涂層材料制備改性、特殊涂層工藝開發(fā)、表面精密加工、特種金屬和非金屬材料精密成型、精密清洗及成品檢測的全工藝鏈條全自主可控的嚴(yán)密體系，擁有介質(zhì)窗、噴淋頭、噴嘴、刻蝕環(huán)、內(nèi)襯、支架、內(nèi)門、反射板、鍍金套筒、晶舟、外延片托盤、靜電卡盤、反射碗、擴(kuò)縮束系統(tǒng)等數(shù)十種機(jī)械類和光學(xué)類半導(dǎo)體特殊涂層零部件產(chǎn)品，產(chǎn)品覆蓋了晶圓制造前道、后道制程以及硅外延片領(lǐng)域，在刻蝕、光刻、量檢測、退火、薄膜沉積等領(lǐng)域取得較為突出的技術(shù)優(yōu)勢，在擴(kuò)散、離子注入、鍵合和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域小批量量產(chǎn)或取得客戶驗(yàn)證，在硅外延片領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵零部件產(chǎn)品的技術(shù)突破。2025年上半年超純股份營業(yè)總收入已完成2.06億元，其中，半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件業(yè)務(wù)收入1.96億元，占營業(yè)總收入的95.00%。

七、發(fā)展趨勢

1、技術(shù)向高精尖與復(fù)合化升級(jí)

隨著半導(dǎo)體制程向更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)推進(jìn)，對(duì)特殊涂層零部件的性能要求持續(xù)攀升，技術(shù)升級(jí)成為核心主線。涂層將朝著更高耐腐蝕性、更低孔隙率、更優(yōu)尺寸精度的方向突破，以適配極端等離子體環(huán)境和高頻次工況需求。單一材料與工藝已難以滿足多元場景，復(fù)合材料復(fù)合工藝成為主流，如不同陶瓷材料的組合、等離子噴涂與物理氣相沉積（PVD）的協(xié)同應(yīng)用，可兼顧防護(hù)性能與適配性。同時(shí)，原子層沉積（ALD）等高端工藝將加速突破，聚焦納米級(jí)膜厚控制與均勻性提升，破解先進(jìn)制程下的技術(shù)瓶頸，推動(dòng)涂層從基礎(chǔ)防護(hù)向精準(zhǔn)功能定制演進(jìn)。

2、國產(chǎn)替代向高端領(lǐng)域深度滲透

在供應(yīng)鏈安全需求與政策扶持雙重驅(qū)動(dòng)下，國產(chǎn)替代將從中低端工藝向高端市場持續(xù)突破。目前，半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件本土企業(yè)已在陽極氧化、電弧熱噴涂等成熟工藝領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)?；娲磥韺⒅攸c(diǎn)攻堅(jiān)高致密等離子噴涂（HDPS）、PVD等高端工藝，逐步打破外資企業(yè)在刻蝕設(shè)備核心部件、光刻設(shè)備光學(xué)涂層等領(lǐng)域的壟斷。本土企業(yè)將通過技術(shù)積累與客戶驗(yàn)證加速綁定國內(nèi)晶圓廠與設(shè)備廠商，依托性價(jià)比優(yōu)勢與快速響應(yīng)能力，縮短認(rèn)證周期，逐步提升在高端供應(yīng)鏈中的份額，形成“技術(shù)突破-客戶驗(yàn)證-規(guī)模擴(kuò)張”的良性循環(huán)。

3、產(chǎn)業(yè)生態(tài)協(xié)同與集約化發(fā)展

未來，我國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)將呈現(xiàn)上下游協(xié)同強(qiáng)化、資源向頭部集中的集約化格局。上游高純度材料、專用涂層設(shè)備的國產(chǎn)化進(jìn)程將加速，破解原材料與核心設(shè)備“卡脖子”問題，構(gòu)建自主可控的產(chǎn)業(yè)鏈體系。中游企業(yè)將加強(qiáng)與半導(dǎo)體設(shè)備廠商的深度綁定，開展聯(lián)合研發(fā)，提前布局適配新一代設(shè)備的涂層技術(shù)，形成協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制。同時(shí)，產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)進(jìn)一步凸顯，長三角、珠三角等區(qū)域?qū)R聚材料、工藝、制造等優(yōu)質(zhì)資源，降低協(xié)同成本。市場資源將向具備“材料-工藝-設(shè)備”一體化能力的頭部企業(yè)集中，中小企業(yè)逐步聚焦細(xì)分賽道，形成差異化競爭格局。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國半導(dǎo)體設(shè)備特殊涂層零部件行業(yè)市場競爭態(tài)勢及前景戰(zhàn)略研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。