刻蝕機

刻蝕機-產(chǎn)業(yè)百科

刻蝕機是一種用于制造微細結(jié)構(gòu)的設(shè)備，常見于半導(dǎo)體、光學(xué)和電子工業(yè)中?？涛g機通過將化學(xué)反應(yīng)物和物理能量相結(jié)合，去除材料表面的一部分，從而創(chuàng)建所需的微細結(jié)構(gòu)。刻蝕機主要分為濕法刻蝕機和干法刻蝕機，其中，濕法刻蝕機分為化學(xué)刻蝕機和電解刻蝕機；干法刻蝕機分為離子銑刻蝕機、等離子刻蝕機和反應(yīng)離子刻蝕機。目前中國刻蝕機的國產(chǎn)化率正在逐步提高。雖然總體核心半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備國產(chǎn)化率不足10%，但是刻蝕機領(lǐng)域的國產(chǎn)化率約為20%。刻蝕機是我國最具優(yōu)勢的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，也是國產(chǎn)替代占比最高的重要半導(dǎo)體設(shè)備之一。不斷發(fā)生的半導(dǎo)體貿(mào)易限制事件，讓刻蝕機等半導(dǎo)體設(shè)備的戰(zhàn)略重要性凸顯，未來刻蝕機的國產(chǎn)替代有望加快。