電子化學(xué)品位于電子產(chǎn)業(yè)鏈的上游，技術(shù)壁壘較高，其關(guān)鍵是針對不同產(chǎn)品的不同特性而應(yīng)采取何種提純技術(shù)。目前國內(nèi)外制備超凈高純試劑的常用提純技術(shù)主要有精餾、蒸餾、升華、氣體吸收等方式，生產(chǎn)對于設(shè)備、環(huán)境潔凈度要求極為嚴(yán)苛。
國內(nèi)受技術(shù)發(fā)展限制，濕電子化學(xué)品領(lǐng)域與國外尚有較大差距，高端市場主要集中在美、日、歐等少數(shù)大廠商手中，比如在對電子化學(xué)品純度等級要求較高的半導(dǎo)體和平板顯示領(lǐng)域，我國內(nèi)資企業(yè)市場占有率僅達(dá)到25%左右。
電子化學(xué)品上游行業(yè)為基礎(chǔ)化工材料，我國化工原料市場程度高，供應(yīng)充足。電子化學(xué)品下游行業(yè)多為集成電路、平板顯示、LED等資本密集、技術(shù)密集型行業(yè)，按照應(yīng)用領(lǐng)域不同，對產(chǎn)品的純度、潔凈度也有不同要求，以集成電路領(lǐng)域為例，線寬越窄所需電子化學(xué)品純度越高，對應(yīng)產(chǎn)品附加值也越高。
濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)
資料來源：智研咨詢整理
2017年我國濕電子化學(xué)品需求結(jié)構(gòu)分析
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按濕電子化學(xué)品下游行業(yè)的技術(shù)要求分，半導(dǎo)體集成電路制造工藝用濕電子化學(xué)品是技術(shù)要求最高的領(lǐng)域，其次是平板顯示領(lǐng)域。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，大規(guī)模集成電路工藝有幾十道工序，工藝制造過程中的空氣、水、各種氣體、化學(xué)試劑、工作環(huán)境、電磁環(huán)境噪聲以及微振動、操作人員、使用的工具、器具等各種因素都可能帶來污染物，這些污染物可能會是微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等物質(zhì)。而這些污染物都需要相關(guān)的超凈高純試劑去除。污染物數(shù)量超過一定限度時，就會使集成電路產(chǎn)品發(fā)生表面擦傷、圖形斷線、短路、針孔、剝離等現(xiàn)象。這會導(dǎo)致漏電、電特性異常等情況，輕者影響電路使用壽命，嚴(yán)重時可導(dǎo)致電路報廢。
雜質(zhì)對集成電路的危害
雜質(zhì) | 雜質(zhì)的危害 |
Au、Pt、Fe、Ni、Cu | 這類雜質(zhì)屬于硅片中的快擴散物質(zhì)、也是俘獲中心。 影響元器件的可靠性和閾值電壓，導(dǎo)致低擊穿和缺陷。 |
堿金屬,尤其 Na，K | 可造成元器件漏電，造成低擊穿。 |
非金屬離子 F-，Cl- | 影響化學(xué)氣相淀積（CVD）工藝和鈍化工藝，導(dǎo)致外 延片層錯增加。 |
P，As，Sb，B，Al 等Ⅱ～Ⅵ組元素 | 屬于硅片中的淺能級雜質(zhì)，有擴散作用，可影響電子和空穴的數(shù)量。P、As、Sb 是 N 型雜質(zhì)，當(dāng)過量時能使 P 型硅片反型；B、Al 是 P 型雜質(zhì)，若過量也會反型。 |
固體顆粒：包括塵埃、金屬氧化物晶體、水管、離子交換樹脂碎片、各種過濾膜的纖維、細(xì)菌和微生物的尸體等 | 造成光刻缺陷，氧化層不平整，影響制版質(zhì)量，影響等離子刻蝕工藝。 |
細(xì)菌 | 水和化學(xué)試劑中的細(xì)菌能造成顆粒型缺陷和污染。細(xì)菌分解的有機酸會使水的電阻率降低。 |
硅酸根 | 水和化學(xué)試劑中的硅酸根會使磷硅玻璃起霧，閾值電壓變化。在等離子刻蝕工藝中 SiO2 會造成顆粒污染形成缺陷。 |
總有機碳( TOC) | 水和試劑中的 TOC 影響柵氧化的擊穿電壓，造成水霧，使氧化層厚度不均。 |
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在大屏幕、高清晰顯示面板的制造過程中，濕電子化學(xué)品所含的金屬離子和個別塵埃顆粒，都會讓面板產(chǎn)生極大的缺陷，同時，平板顯示的制造工藝對濕電子化學(xué)品的功能性要求較高，清洗的清潔度，蝕刻的方向、角度以及對不同金屬的蝕刻速率差異均會影響平板顯示的品質(zhì)。
所以，在微電子制造的清洗、光刻、顯影、刻蝕、摻雜等工藝環(huán)節(jié)都需要使用功能性濕電子化學(xué)品去除污染物，使污染物控制在規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，同時，微電子制造工藝對濕電子化學(xué)品本身的產(chǎn)品品質(zhì)、質(zhì)量和功能性也有較高的要求。
隨著我國濕電子化學(xué)上下游的精細(xì)化工和下游的半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，產(chǎn)業(yè)上下游的之間的協(xié)同作用將會逐漸增強，“產(chǎn)學(xué)研”一體的創(chuàng)新戰(zhàn)略對行業(yè)發(fā)展的推動力也會顯著的增強，同時在未來，我國在這一領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)扶持政策預(yù)期，對中小企業(yè)的培育能力將會增強，國內(nèi)企業(yè)的從業(yè)主體將會逐漸增加，低端產(chǎn)品大范圍實現(xiàn)進(jìn)口替代，中高端產(chǎn)品的進(jìn)口替代將會加速行業(yè)內(nèi)市場競爭將會更加激烈。
智研咨詢發(fā)布的《2019-2025年中國濕電子化學(xué)品市場運行態(tài)勢與投資前景評估報告》數(shù)據(jù)顯示：2025年我國濕電子化學(xué)品產(chǎn)值規(guī)模將超過90億元。
2019年~2025年中國濕電子化學(xué)品行業(yè)產(chǎn)值預(yù)測
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智研咨詢 - 精品報告
2026-2032年中國太陽能電池領(lǐng)域濕電子化學(xué)品行業(yè)市場運營態(tài)勢及發(fā)展前景預(yù)測報告
《2026-2032年中國太陽能電池領(lǐng)域濕電子化學(xué)品行業(yè)市場運營態(tài)勢及發(fā)展前景預(yù)測報告》共七章，包含濕電子化學(xué)品在太陽能電池硅片制程上應(yīng)用及其市場現(xiàn)狀，太陽能用濕電子化學(xué)品生產(chǎn)商情況，光伏領(lǐng)域濕電子化學(xué)品市場前景預(yù)測等內(nèi)容。
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