研判2025！中國白光干涉儀行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模及重點(diǎn)企業(yè)分析：創(chuàng)新產(chǎn)品拓展應(yīng)用版圖，0.1納米級檢測能力引領(lǐng)高精制造需求[圖]

內(nèi)容概況：隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源汽車、航空航天等高精制造領(lǐng)域快速擴(kuò)張，對亞納米級表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等參數(shù)的嚴(yán)苛檢測需求激增。白光干涉儀作為關(guān)鍵檢測工具，憑借其非接觸、高精度、三維成像等特性，市場需求隨產(chǎn)業(yè)升級持續(xù)攀升。2024年，中國白光干涉儀行業(yè)市場規(guī)模約為51億元，同比增長13.33%。從技術(shù)來看，行業(yè)主流設(shè)備的分辨率已突破0.1納米，動(dòng)態(tài)測量范圍擴(kuò)展至200微米，多光譜融合技術(shù)使測量效率提升40%。這些技術(shù)進(jìn)步不僅提升了設(shè)備的性能，還直接推動(dòng)了設(shè)備單價(jià)的下降，使白光干涉儀在市場上的應(yīng)用更加廣泛。隨著技術(shù)創(chuàng)新的不斷推進(jìn)，新型白光干涉儀產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)，如多波長干涉儀、非接觸式白光干涉儀等。這些新型產(chǎn)品不僅豐富了市場產(chǎn)品線，還滿足了不同行業(yè)對高精度檢測設(shè)備的多樣化需求。

相關(guān)上市企業(yè)：炬光科技（688167）

相關(guān)企業(yè)：舜宇光學(xué)科技（集團(tuán)）有限公司、歐菲光集團(tuán)股份有限公司、聯(lián)創(chuàng)電子科技股份有限公司、浙江水晶光電科技股份有限公司、深圳光峰科技股份有限公司、上海韋爾半導(dǎo)體股份有限公司、立訊精密工業(yè)股份有限公司、陜西秦川機(jī)床工具集團(tuán)有限公司、中電智能科技有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司、北京兆易創(chuàng)新科技股份有限公司、中國微電子科技集團(tuán)有限公司、深圳邁瑞生物醫(yī)療電子股份有限公司、安泰科技股份有限公司

關(guān)鍵詞：白光干涉儀、白光干涉儀市場規(guī)模、白光干涉儀行業(yè)現(xiàn)狀、白光干涉儀發(fā)展趨勢

一、行業(yè)概述

白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射 光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關(guān)物理量。

白光干涉儀的主要組成是：光源及科勒照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)、垂直掃描系統(tǒng)、調(diào)整系統(tǒng)、干涉物鏡。白光干涉儀可以選用寬光譜白光LED作為光源，成像系統(tǒng)是使用管鏡與干涉結(jié)構(gòu)相結(jié)合的型式，垂直掃描系統(tǒng)采用壓電陶瓷控制器(PZT)實(shí)現(xiàn)z軸方向的精密位移與掃描，通過計(jì)算機(jī)編寫軟件實(shí)現(xiàn)對白光干涉儀的系統(tǒng)控制，最終實(shí)現(xiàn)對元件表面形貌的檢測。

二、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

白光干涉儀行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括光學(xué)元件（如透鏡、分光鏡、反射鏡、物鏡等）、光源系統(tǒng)（如白光LED、鹵素?zé)舻龋⑻綔y器、傳感器、精密機(jī)械部件（如壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、納米級伺服系統(tǒng)、導(dǎo)軌等）、電子控制系統(tǒng)（如控制器、軟件算法、數(shù)據(jù)處理模塊等）等。產(chǎn)業(yè)鏈中游為白光干涉儀生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)制造、精密機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。

近年來，中國在半導(dǎo)體制造工藝上不斷取得突破，從成熟工藝的優(yōu)化到先進(jìn)工藝的逐步攻克，使得芯片生產(chǎn)效率大幅提升。同時(shí)，國內(nèi)企業(yè)加大研發(fā)投入，積極引進(jìn)高端人才，攻克了諸多技術(shù)難題，為產(chǎn)量的持續(xù)攀升奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。2025年1-8月，中國集成電路產(chǎn)量為3429.1億塊，同比增長20.53%。隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，對集成電路的需求呈爆發(fā)式增長。無論是智能手機(jī)、智能穿戴設(shè)備，還是工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、汽車電子等領(lǐng)域，都對集成電路有著海量需求，這促使國內(nèi)集成電路企業(yè)不斷擴(kuò)大產(chǎn)能，以滿足市場缺口。白光干涉儀在集成電路制造中主要用于檢測硅片表面的平整度、缺陷和微觀結(jié)構(gòu)。其高精度的測量能力能夠確保芯片制造過程中的每一個(gè)環(huán)節(jié)都達(dá)到極高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。隨著中國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對白光干涉儀的需求也日益增加。國內(nèi)白光干涉儀制造商通過技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級，不斷提升設(shè)備的性能和精度，以滿足日益增長的市場需求。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國白光干涉儀行業(yè)市場競爭格局及發(fā)展趨向研判報(bào)告》

三、市場規(guī)模

隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源汽車、航空航天等高精制造領(lǐng)域快速擴(kuò)張，對亞納米級表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等參數(shù)的嚴(yán)苛檢測需求激增。白光干涉儀作為關(guān)鍵檢測工具，憑借其非接觸、高精度、三維成像等特性，市場需求隨產(chǎn)業(yè)升級持續(xù)攀升。2024年，中國白光干涉儀行業(yè)市場規(guī)模約為51億元，同比增長13.33%。從技術(shù)來看，行業(yè)主流設(shè)備的分辨率已突破0.1納米，動(dòng)態(tài)測量范圍擴(kuò)展至200微米，多光譜融合技術(shù)使測量效率提升40%。這些技術(shù)進(jìn)步不僅提升了設(shè)備的性能，還直接推動(dòng)了設(shè)備單價(jià)的下降，使白光干涉儀在市場上的應(yīng)用更加廣泛。隨著技術(shù)創(chuàng)新的不斷推進(jìn)，新型白光干涉儀產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)，如多波長干涉儀、非接觸式白光干涉儀等。這些新型產(chǎn)品不僅豐富了市場產(chǎn)品線，還滿足了不同行業(yè)對高精度檢測設(shè)備的多樣化需求。

四、重點(diǎn)企業(yè)經(jīng)營情況

當(dāng)前中國白光干涉儀行業(yè)呈現(xiàn)“國際品牌主導(dǎo)高端、國產(chǎn)廠商加速崛起”的競爭格局。國際巨頭如德國Bruker、美國ZYGO憑借成熟技術(shù)占據(jù)高端市場，產(chǎn)品垂直分辨率達(dá)0.1nm，但價(jià)格昂貴（800-1500萬元/臺(tái)），主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓檢測、光學(xué)元件面形評估等高精度場景。國內(nèi)企業(yè)如中圖儀器、優(yōu)可測、新啟航通過技術(shù)突破與成本優(yōu)勢快速擴(kuò)張。中圖儀器SuperView系列實(shí)現(xiàn)300mm大范圍掃描與5秒自動(dòng)化調(diào)平，在晶圓檢測領(lǐng)域市占率領(lǐng)先；優(yōu)可測AM8000系列集成AI算法，相位解算精度達(dá)0.1nm，適配生物醫(yī)療、新能源等細(xì)分市場；新啟航通過“零部件歸零計(jì)劃”實(shí)現(xiàn)27項(xiàng)核心部件100%國產(chǎn)化，設(shè)備成本降至300-400萬元，較進(jìn)口產(chǎn)品低60%。

板石智能科技（深圳）有限公司成立于2020年，系國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，旗下核心品牌優(yōu)可測聚焦精密測量儀器研發(fā)。技術(shù)突破方面，2025年優(yōu)可測取得白光干涉儀三維調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)專利，通過豎直平面、俯仰及水平面調(diào)節(jié)組件實(shí)現(xiàn)設(shè)備垂直度與平行度精準(zhǔn)調(diào)控。其旗艦產(chǎn)品AM8000系列白光干涉儀垂直分辨率達(dá)0.1nm，支持5秒自動(dòng)調(diào)平及300mm大范圍掃描，集成“EquiDrive自動(dòng)調(diào)平”與氣浮緩沖機(jī)構(gòu)，隔振穩(wěn)定性提升2.7倍；AM7000系列更實(shí)現(xiàn)0.03nm垂直分辨率與0.002nm RMS重復(fù)性，搭配納米壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，掃描速度達(dá)400μm/s。應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋半導(dǎo)體晶圓檢測、航空航天、3C電子、新能源及生物醫(yī)療，客戶包括華為海思、寧德時(shí)代、中科院等頭部機(jī)構(gòu)，并完成A輪融資以拓展海外布局。

新啟航半導(dǎo)體有限公司作為國產(chǎn)3D白光干涉儀領(lǐng)軍企業(yè)，通過“零部件歸零計(jì)劃”實(shí)現(xiàn)27項(xiàng)核心部件100%國產(chǎn)化。技術(shù)層面，自主研發(fā)非對稱共光路干涉系統(tǒng)突破傳統(tǒng)專利限制，采用國產(chǎn)高功率LED光源（光譜400-700nm）結(jié)合智能濾波技術(shù)，在保持0.1nm垂直分辨率的同時(shí)將光源成本降至進(jìn)口1/5；與成都光明合作開發(fā)的λ/20精度熔融石英物鏡使光學(xué)組件成本下降70%。其大視野3D白光干涉儀搭載0.6倍鏡頭實(shí)現(xiàn)15mm單幅視野與0.1nm精度融合，支持8英寸晶圓FULL MAPPING掃描及動(dòng)態(tài)3D輪廓測量，集成多普勒激光測振系統(tǒng)拓展復(fù)雜工況應(yīng)用。

五、行業(yè)發(fā)展趨勢

1、行業(yè)技術(shù)不斷創(chuàng)新，驅(qū)動(dòng)高端化突破

2025年中國白光干涉儀行業(yè)已實(shí)現(xiàn)0.1納米級分辨率、200微米動(dòng)態(tài)測量范圍的技術(shù)突破，多光譜融合技術(shù)使測量效率提升40%。企業(yè)如優(yōu)可測通過AM8000系列集成AI算法，實(shí)現(xiàn)0.1nm相位解算精度與5秒自動(dòng)調(diào)平功能，適配半導(dǎo)體晶圓全表面三維形貌重構(gòu)需求；新啟航則通過非對稱共光路干涉系統(tǒng)突破傳統(tǒng)專利限制，采用國產(chǎn)LED光源與λ/20精度熔融石英物鏡，將光學(xué)組件成本降低70%。行業(yè)正朝著智能化、多功能化方向發(fā)展，例如集成多普勒激光測振系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)3D輪廓測量，結(jié)合AI算法實(shí)現(xiàn)智能數(shù)據(jù)分析和一鍵式操作，滿足航空航天、精密模具等高精度場景需求，推動(dòng)設(shè)備向高端制造核心環(huán)節(jié)滲透。

2、國產(chǎn)化進(jìn)程加速，產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)自主可控

政策驅(qū)動(dòng)下，行業(yè)核心部件國產(chǎn)化率顯著提升。中圖儀器通過自研XtremeVision Pro軟件平臺(tái)與精密Z向掃描模塊，實(shí)現(xiàn)300mm大范圍掃描與ISO/ASME標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)評價(jià)；優(yōu)可測聯(lián)合成都光明開發(fā)國產(chǎn)物鏡，使光學(xué)鏡片成本下降70%。新啟航通過“零部件歸零計(jì)劃”實(shí)現(xiàn)27項(xiàng)核心部件100%國產(chǎn)化，設(shè)備成本降至進(jìn)口產(chǎn)品的50%-60%，全生命周期成本節(jié)省顯著。國家發(fā)改委要求2025年底前精密測量儀器自主化率超70%，推動(dòng)長三角、珠三角產(chǎn)業(yè)集群形成完整供應(yīng)鏈，蘇州工業(yè)園、東莞松山湖等地國產(chǎn)化率已超40%，高精度壓電陶瓷、導(dǎo)軌等部件進(jìn)口依存度從83%逐步降低，支撐“制造強(qiáng)國”戰(zhàn)略實(shí)施。

3、應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)展，推動(dòng)跨行業(yè)深度融合

白光干涉儀應(yīng)用場景持續(xù)拓展，除了傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制造、光學(xué)檢測和精密機(jī)械加工等領(lǐng)域，白光干涉儀在生物醫(yī)學(xué)、新能源、航空航天等新興領(lǐng)域的應(yīng)用也將逐漸增加。例如，在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，白光干涉儀可用于細(xì)胞成像和生物組織結(jié)構(gòu)的測量；在新能源領(lǐng)域，可用于光伏電池表面檢測和薄膜厚度測量?？缧袠I(yè)融合方面，設(shè)備與工業(yè)自動(dòng)化、AI算法結(jié)合，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程運(yùn)維、智能診斷等功能，例如內(nèi)置IoT模塊實(shí)現(xiàn)故障預(yù)警準(zhǔn)確率95%。同時(shí)，多鏡頭復(fù)合型設(shè)備通過模塊化設(shè)計(jì)滿足多樣化需求，從單鏡頭基礎(chǔ)型到定制化高端型，覆蓋科研教育、航空航天等全領(lǐng)域。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國白光干涉儀行業(yè)市場競爭格局及發(fā)展趨向研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。